平面抛光机被以下功用陶瓷超精密加工方法：

1、非接触抛光

非接触抛光是指在抛光过程中，工件与抛光盘不接触，仅用抛光剂冲击工件表面，以获得被加工表面的完美结晶度和精确形状的抛光方法。去除量为几个到几十个原子级的抛光方法。

2、界面反响抛光

当工件与磨料颗粒之间的冲突界面处于高温高压状况时，很容易在工件表面构成一层非常薄的化合物。该反响物经抛光后容易去除，最终能有效地获得表面粗糙度低于纳米水平的抱负表面。它是现在功用陶瓷和器材基板精密加工的首要方法。

3、电场和磁场抛光加工

电场和磁场抛光是运用和控制电场和磁场的强度，使磨料颗粒在工件上获得高形状精度、高表面质量和无晶体畸变表面的一种抛光方法。首要用于精密机械的信息设备和高性能元器材的加工。

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